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产品介绍：提供单轴、双轴，谐振/准静态等等类型的MEMS扫描镜/振镜
Bonded MEMS Mirrors粘合振镜
粘合镜与硅致动器结构分开制造，用于随后在设备顶部进行微组装。 因为这些镜子是从设备致动器结构的上方连接的，所以它们不占据致动器区域的一部分，因此基本上可以制成任意尺寸。 粘合反射镜方法允许用户为每个单独的应用选择反射镜的尺寸和几何形状，以优化速度、光束尺寸和扫描角度之间的权衡。 镜子被粘合到现成的致动器上，从而能够经济地适应一小组制造的设备以适应广泛的应用。
Bonded Mirror Sizes: 2.0, 2.4, 3.0, 3.6, 4.2, 4.6mm, and 5.0mm, 6.4mm, and 7.5mm diameter in stock.
Maximum tilt angle under point-to-point driving: -6° to +6° mechanical on each axis, varies with design type, and in some cases is limited by mirror size.
Maximum tilt angle under resonant driving: -7° to +7° mechanical, in some cases limited by mirror size.
Single-Axis Option: In-stock single-axis actuators can be combined with many of the available mirror sizes.
These are example characterization reports of typical devices of a given design as made at manufacture time. Most designs have additional full datasheets available .
Actuator | Mechanical Angle [°] | Die Size [mm] | Mirror Diameter [mm] | ||||||||
2.0 | 2.4 | 3.0 | 3.6 | 4.2 | 4.6 | 5.0 | 6.4 | 7.5 | |||
±7 | 5.20 x 5.20 | NR | NR | NR | NR | NR | |||||
±5.5 | 5.20 x 5.20 | NR | NR | NR | NR | NR | NR | ||||
±5 | 7.25 x 7.25 | NR | NR | NR | NR | ||||||
±4.25 | 7.25 x 7.25 | NR | NR | ||||||||
±2.5 | 7.25 x 7.25 | NR | |||||||||
±1.15 | 7.25 x 7.25 | ||||||||||
* ⍻ = Datasheet Not Available
* NR = Not Recommended
Integrated MEMS Mirrors集成振镜
直径高达 2.4 毫米的集成反射镜是单片制造的，作为无万向节执行器设备结构的集成部分。 它们是硅芯片的中心区域，与周围的静电致动器共享相同的微细加工步骤。 这些镜子由相同的可用硅层构成，具有几乎完全平坦和光滑的硅表面。 在四个侧面，镜子连接到提供两轴运动的双轴连杆。 自 2016 年以来，我们不断库存具有以下直径的集成反射镜的设备：0.8 毫米、1.2 毫米、2.0 毫米和 2.4 毫米。 所有库存的集成反射镜都涂有纯铝，可在非常宽的波长范围内提供高反射率。 金金属化可以在晶圆规模上进行，因此可用于更大的生产订单。
Mirror Sizes: 0.8 mm, 1.2mm, 1.6mm, 2.0mm, and 2.4mm diameter in stock.
Maximum tilt angle under point-to-point driving:-6° to +6° mechanical each axis, varies with design type.
Maximum tilt angle under resonant driving: -7° to +7° mechanical
Single-Axis Option: Most designs can be provided arranged for pure single-axis motion.
Actuator Name | Mechanical Angle [°] | Die Size [mm] | Mirror Diameter [mm] | |
A3I8.2-800AL | ±6 | 4.25 x 4.25 | 0.8 | |
A7M8.1-800AL | ±4.75 | 5.20 x 5.20 | 0.8 | |
A7M10.2-1000AL | ±4.75 | 5.20 x 5.20 | 1.0 | |
A3I12.2-1200AL | ±5 | 4.25 x 4.25 | 1.2 | |
F1M16.2-1600AL | ±4.5 | 5.20 x 5.20 | 1.6 | |
A7M20.2-2000AL | ±5 | 5.20 x 5.20 | 2.0 | |
A5M24.3-2400AL | ±5 | 7.25 x 7.25 | 2.4 |
Mirrorcle Technologies MEMS 镜子开发套件使用户能够快速有效地熟悉这些设备的各个方面及其各种可能的用途。 此外，它还可以通过专门开发的软件和 MEMS 驱动解决方案实现设备的安全操作，其中包括对微镜设备的多级保护。
开发套件用户能够以任意刷新率显示各种矢量图形以及多帧动画。 扫描仪可以在点对点矢量扫描或共振和光栅模式下运行。 该系统高度适用于在各种表面和各种应用中的投影，包括在特殊涂层的透明表面上的投影。 MEMS 器件的超低功耗使系统具有高度的便携性和微型性——该套件重量非常轻，并且在与笔记本电脑一起使用时可完全移动。
扫描、两轴（倾斜）反射镜是许多行业的各种应用中所需的基本光束转向技术。 Mirrorcle 的 MEMS 反射镜技术提供了一种极具竞争力的解决方案，可以满足其中许多应用的需求，因为它能够控制反射镜在两个正交轴或两个旋转自由度上以任意角度倾斜/倾斜。例如，指向微镜的激光束可以在一个或两个轴上偏转至 -12° 到 +12° 的任何角度（规格因不同的设计而异），因此可以在 24° 视场范围内的任何位置偏转。当使用广角镜头（见下面的附加组件）时，每个轴的视场超过 45° 很容易实现。
Mirrorcle Technologies 无云台双轴反射镜由静电致动器驱动。它们的旋转角度严格遵循平方定律，即角度与施加电压的平方成正比。这种固有的非线性被专门的偏置差分驱动电路线性化。在机械上，反射镜的行为近似于具有 30-80 高 Q 的二阶（质量弹簧）系统，因此需要适当调节的驱动信号才能获得良好的控制性能。在开环驱动中，施加电压波形的平滑（输入整形和/或滤波）可防止设备谐振时的过冲和机械振铃。 Mirrorcle Technologies 软件和硬件驱动程序实施多种方法，以提供线性化和快速稳定的点对点光束转向。
在大多数应用中，反射镜不需要位置传感器或闭环控制，因为它们在开环控制中具有出色的可重复性。尽管如此，客户可能会为它们配备或包装外部位置传感器，用于闭环控制操作。在这些应用中，客户已在闭环中使用 MEMS 反射镜来实现基于反馈的阻尼。
标准开发套件
Three Gimbal-less Dual-Axis MEMS Mirrors
· First mirror is integrated, 1.0mm diameter with +-4.7° of mechanical angle (A7M10.2-1000AL-TINY48.4-[window]).
· Second mirror is integrated, 2.0mm diameter with +-5° of mechanical angle (A7M20.2-2000AL-TINY48.4-[window]).
· Third mirror is bonded, 4.6mm diameter with +-4.8° of mechanical angle (A8L2.2-4600AL-TINY48.4-[window]).
All three mirrors are Aluminum coated. Each mirror device is packaged in a connectorized package TINY48.4 for easy handling, mounting and connection to the USB MEMS Controller.
Each device is covered with an anti-reflection coated window in which there are anti-reflection coatings available to choose.
This Development Kit Also Includes:
Allows extensive MEMS mirror driving capabilities in multiple Windows executables (XP, Vista, Win7, Win8) and 3 comprehensive SDKs.
· MirrorcleDraw executable for Windows with an easy to use Graphical User Interface
· Includes generation of various arbitrary waveforms
· Includes RQ Explorer for "Resonant-Quasistatic" driving to rapidly line-by-line raster over an FoV
· MirrorcleLinearRaster is a console application for Windows
· MTIDevice-Demo is a console application demonstrating several mirror control methods from the C++ SDK
· MirrorcleListDevices is a console application which lists all connected and available Controllers and their info
· Software Development Kit for C++
· Software Development Kit for Matlab
· Software Development Kit for LabVIEW
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